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晶圓級硅光測試系統(tǒng) 產(chǎn)品介紹 硅光芯片擁有集成電路技術(shù)超大規(guī)模、光子技術(shù)的超高速率和超低功耗的優(yōu)勢, 在通信、數(shù)據(jù)中心、超級計算機、量子技術(shù)等領(lǐng)域應(yīng)用前景廣泛。硅光測試測量技術(shù)方案基于成熟可靠的晶圓測試探針臺、高分辨率顯微成像系統(tǒng)、高精度低損耗光學測試組件、精密光纖定位組件、光纖定位控制器、光電轉(zhuǎn)換器和系統(tǒng)集成控制軟件等搭建的高效光電測試系統(tǒng)。
產(chǎn)品特點 Ø 完全國產(chǎn)自主知識產(chǎn)權(quán)，售后無憂 Ø 貨期快，比進口產(chǎn)品快2/3以上 Ø 雙邊共計18軸電動控制，納米級別精度 Ø 可定制，滿足各種不同測試需求 Ø 支持垂直耦合和端面耦合 Ø 支持單光纖耦合和陣列光纖耦合 Ø EasyLink集成軟件控制所有設(shè)備 Ø 系統(tǒng)搭建和準備流程簡化，節(jié)省培訓成本 晶圓級自動耦合跑片視頻 自動耦合系統(tǒng)指標 該系統(tǒng)配置壓電納米定位臺，結(jié)合EasyLink軟件，可實現(xiàn)X、Y、Z、XY、XZ、YZ、XYZ 多種運動算法，均可實現(xiàn)最大100μm 的精密運動。配置下視顯微鏡和側(cè)面顯微鏡，輕松完成光纖對準和高度確認。顯微鏡視野界面及耦合界面如下圖所示。
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