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TEC溫控系統(tǒng) 產(chǎn)品介紹 ETS-TEC-150是一款應(yīng)用于光電器件測試探針臺的6英寸晶圓溫控系統(tǒng)，溫度范圍為-20℃到100℃，主要由變溫卡盤和溫度控制器組成。系統(tǒng)具有寬泛的溫度控制范圍、緊湊的冷卻套件、高溫度精度與穩(wěn)定性控制等特性，廣泛應(yīng)用于6英寸及以下尺寸的半導(dǎo)體器件或晶圓的變溫電學(xué)性能關(guān)鍵參數(shù)分析。
關(guān)鍵特征 Ø帕爾貼元件快速降溫 Ø溫度范圍為-20℃到100℃ Ø 模塊化系統(tǒng)，適合單獨測試的需要 Ø冷卻劑占地面積小，節(jié)省空間 Ø兼容各大主流生產(chǎn)型或分析型探針臺 Ø可集成全套的軟硬件于一體 應(yīng)用場景 ØCascade 探針臺溫控升級 ØMPI 探針臺溫控升級 Ø全自動探針臺高低溫升級 Ø手動探針臺溫控升級 規(guī)格參數(shù)
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