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高低溫溫控系統(tǒng) 產(chǎn)品介紹 ETS-H-200 是一款配備3kV 8寸低漏電高溫卡盤的氣冷型高精度溫控系統(tǒng)，主要由3kV高溫卡盤，降溫套件和溫控系統(tǒng)等組成。該系統(tǒng)具有寬泛的溫度控制范圍、緊湊的冷卻套件、低能耗和穩(wěn)定的純空氣制冷等特性，廣泛應(yīng)用于八英寸及以下尺寸的半導(dǎo)體器件或晶圓的變溫電學(xué)性能關(guān)鍵參數(shù)分析，如：功率器件建模測(cè)試、晶圓可靠性評(píng)估、生產(chǎn)型變溫檢測(cè)，變溫光電測(cè)試、射頻變溫測(cè)試等
關(guān)鍵特征 Ø 僅使用空氣冷卻——無液體或帕爾貼元件 Ø 耐壓值高達(dá)3000V Ø溫度范圍為25℃到200℃ Ø模塊化系統(tǒng)，適合單獨(dú)測(cè)試的需要 Ø冷卻劑占地面積小，節(jié)省空間 Ø 兼容各大主流生產(chǎn)型或分析型探針臺(tái) Ø可集成全套的軟硬件于一體 應(yīng)用場(chǎng)景 ØCascade 探針臺(tái)溫控升級(jí) ØMPI 探針臺(tái)溫控升級(jí) Ø全自動(dòng)探針臺(tái)高低溫升級(jí) Ø手動(dòng)探針臺(tái)溫控升級(jí) 規(guī)格參數(shù)
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